根據(jù)羅茨真空泵工作壓力范圍的不同,分為直排大氣的低真空羅茨泵;中真空羅茨泵和高真空多級(jí)羅茨泵。國內(nèi)用量最多的為中真空羅茨泵。
羅茨真空泵與其它油封式真空泵相比有以下特點(diǎn):
1、在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速;
2、轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對(duì)稱性,故振動(dòng)小,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可大大降低驅(qū)動(dòng)功率,從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速;
3、泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的污染;
4、泵腔內(nèi)無壓縮,無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊,對(duì)被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;
5、壓縮比較低,對(duì)氫氣抽氣效果差;
6、轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面,加工和檢查比較困難。羅茨真空泵近幾年在國內(nèi)外得到較快的發(fā)展。在冶煉、石油化工、電工、電子等行業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用。