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滑動式帶預(yù)加熱系統(tǒng)四路質(zhì)子流量控
Φ305mm大口徑六溫區(qū)開啟式管
Φ150mm大口徑石英管式電爐G
1600℃雙開門箱式電爐
1100℃大型垂直對開式管式電爐
1800℃旋轉(zhuǎn)門箱式電爐KSL-
1600℃旋轉(zhuǎn)門箱式電爐KSL-
1700℃高溫箱式電爐KSL-1
1100℃迷你型箱式電爐KSL-
1400開啟式可傾斜旋轉(zhuǎn)管式電爐
1100℃三溫區(qū)垂直開啟GSL-
1600℃雙溫區(qū)管式電爐GSL-
1200℃三溫區(qū)管式電爐GSL-
1400℃單溫區(qū)管式電爐GSL-
RTP快速退火管式電爐RTP-1
4路質(zhì)子混氣PECVD系統(tǒng)-GS
單溫區(qū)開啟式真空管式爐GSL-1
GSL-1100X五溫區(qū)開啟式真
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